Предназначена для защиты графитовых деталей от агрессивных газовых сред в процессе роста полупроводниковых слитков и эпитаксиальных слоев
Лабораторно-промышленная экономически эффективная технология нанесения защитных покрытий на основе карбида тантала (TaC) и карбида титана (TiC) на графитовую арматуру, эксплуатируемую в условиях высокотемпературных процессов, обеспечивает высокую однородность покрытия и отличную адгезию.
Производство полупроводниковых приборов силовой, высокочастотной, радиационно-стойкой электроники, функционирующей в экстремальных условиях эксплуатации
Низкая себестоимость по сравнению с конкурентными методами (CVD, магнетронное напыление)
Технология прошла лабораторные испытания
Изделия из графита с покрытием из карбида тантала
Характеристики порошка карбида кремния:
| Характеристика | Значение |
|---|---|
| Толщина сплошного покрытия | 10-30 мкм |
| Структура покрытия | поликристаллическая нетекстурованная |
| Центр трансфера технологий | |
| Санкт-Петербург, ул. Профессора Попова, дом 5, корпус 5, пом. 5432 | |
| +7 812 234-24-84 | |
| ctt@etu.ru |
