Технология синтеза высокочистого порошка карбида кремния

Предназначена для получения изображения поверхности объекта с высоким разрешением, а также информации о химическом составе поверхностного слоя

Области применения

Производство полупроводниковых приборов силовой, высокочастотной, радиационно-стойкой электроники, функционирующей в экстремальных условиях эксплуатации

Конкурентные преимущества

Стадия разработки

Отработаны технологические режимы, защищенные патентами РФ

Порошок карбида кремния

Основные технические характеристики

Характеристики порошка карбида кремния:

Характеристика Значение
Диаметр зерна 100-300 мкм
Насыпная плотность 1,5-2,0 г/см3
Уровень легирования (азот) от 1016 до 1019 см-3
Уровень посторонних примесей менее 5 ppm

Правовая охрана


  Скачать информацию о разработке

Контакты

Центр трансфера технологий
+7 812 234-24-84
ctt@etu.ru