Установка для рентгеновского контроля монокристальных материалов «ПРДУ-КРОС»

Предназначена для контроля качества изготовления монокристаллических подложек

Аннотация

В установке реализована оригинальная методика рентгеновской съемки по Лауэ, обеспечивающая экспрессность измерений при необходимой точности. Методика предполагает, что объект съемки неподвижен, а ориентация кристаллографических осей определяется программными средствами, как правило, в «диалоге» с оператором. Содержащаяся в одной лауэграмме информация достаточна для определения пространственного положения всех кристаллографических осей при любой ориентации кубического кристалла.

Области применения

Производство компонентной базы СВЧ-электроники

Конкурентные преимущества

• Специализированная установка для оперативной диагностики изделий из монокристаллов, позволяющая контролировать:
  • Отклонение кристаллографической ориентации основного кристалла сверх допустимого значения
  • Монокристальность (отсутствие кристаллитов – субзерен, разориентированных относительно основного кристалла)
• Отечественных аналогов нет
• По сравнению с зарубежными аналогами:
  • Оперативность диагностики при сопоставимой точности результатов
  • Простота конструкции
  • Меньшие габариты и вес, меньшая стоимость

Стадия разработки

Продукт готов к производству

Основные технические характеристики